弘承科技事業股份有限公司

靜電及微粒子之完整解決方案

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335桃園縣大溪鎮仁德二街312號3樓

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產品項目

防靜電儀器
靜電消散設備
無塵吸塵器
微粒子計數(檢查)
環境計測系統
防靜電鑷子.吸筆
無塵室設備(桌.椅)
無塵衣、帽、鞋
無塵室耗材
HUBY無塵擦拭棒
真空裝置
工業級防潮箱
顯微鏡
理化實驗室設備
攪拌脫泡機

                                      

   

                                                

 

表面微粒子計數器

 

   使用範圍:

矽晶圓、藍寶石、玻璃(AR/ITO Film

電子物件清洗後之評定

製膜工程之評定

無塵室沉降微粒子之評定

自動化導入可能

玻璃基板內外-20db(電壓比),玻璃厚0.7mm

適用尺寸:2”~850mm~200mmYPI200

                     2”~1250mm~500mmYPI500

                          手動/自動載具

   微粒子粒徑尺寸:0.3um~10um

通道數0.3um1um3um5um

              :1um3um5um10um

   掃描時間:4min/8吋矽晶圓

   光源:780nm50MW

設備製造商:研發設計,製程監控

      大學及研究單位

      玻璃及藍寶石製造商:品管控制

      LED製造商:品管控制,設備監控

測試原理:

雷射光由底部照射,偵測器會紀錄散落之光線

 

文字方塊: 矽晶圓之微粒子散布與電壓之實測值

 

 

掃描之數據

200mm之矽晶圓之測試結果,

數據顯示其數量及分布範圍等

 

 
 

 

                                 

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上次更新:2018年09月03日